FZ-10288STGF十槽式全自动晶片清洗设备

产品特点

·全自动湿设备RCA

·自主开发全中文操作控制系统

·采用快速交付系统

·药液使用寿命全自动管理

·在线加热方法

·相应的0.2μm设备可能

·节能设备类型

·根据不同的要求，选择IPA-VP、S/D或MARAGONI干燥方式

适用范围

碳化硅片清洗